本发明涉及一种耐辐射高性能石英光纤的制备方法，本发明的耐辐射高性能石英光纤由以石英玻璃材料为基质的纤芯、内包层和外包层组成，纤芯含有0-2000ppm的羟基、0-1000ppm的氟，内包层掺杂10000-20000ppm的氟，外包层为含氟1000-6000ppm的石英玻璃。本发明的耐辐射高性能石英光纤可采用VAD+MCVD或PCVD工艺组合法，即先采用VAD制备芯层，控制不同的沉积与玻璃化工艺条件，得到不同羟基与氟含量的芯棒，用MCVD或PCVD工艺制备掺氟的内包层，得到含有低折射率内包层的套管，然后将芯棒和所得套管熔合成为预制棒或组合成预制棒组件直接拉丝制作成光纤。该光纤既可用于通信系统的信息传输，特别是在辐射环境下，作为耐辐射光纤保证长距离通信，又可作为传输紫外光的传能光纤。