本发明提供表膜构件框体、表膜构件和表膜构件框体的使用方法。在将表膜铺展并粘接在表膜构件框体上时框体不会变形，此外在将表膜构件粘贴在掩模上后，表膜构件框体自身也能追随掩模因自重而产生的挠曲。表膜构件框体为矩形，该表膜构件框体的应变度α为0.06％以下，下述通用式(1)所示的该表膜构件框体的各边的追随度β为3mm以上，该表膜构件框体的长边的追随度β为32mm以下，且框体的长边长度为1400mm～2100mm，并且该表膜构件框体的内侧面积为15000cm2以上。β＝(1/表膜构件的挠曲量)×厚度×宽度(1)。