太赫兹单光子探测器及其探测方法
摘要:
本发明涉及一种太赫兹单光子探测器及其探测方法。所述太赫兹单光子探测器包括:半导体异质结,所述半导体异质结表面形成有二维电子气;形成于所述半导体异质结表面的探测电极,用于收集太赫兹单光子;第一量子点,所述探测电极收集的太赫兹单光子激发所述第一量子点带单位正电荷;形成于所述半导体异质结表面的单电子测量仪,用于测量所述单电子测量仪的周围静电环境的电荷变化,所述单电子测量仪与所述第一量子点电容式耦合,所述第一量子点带的单位正电荷引起所述单电子测量仪中的电流发生跳变。本发明的太赫兹单光子探测器能探测微弱的太赫兹辐射,并对太赫兹单光子进行计数。
公开/授权文献
IPC分类:
H 电学
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件(使用半导体器件的测量入G01;一般电阻器入H01C;磁体、电感器、变压器入H01F;一般电容器入H01G;电解型器件入H01G9/00;电池组、蓄电池入H01M;波导管、谐振器或波导型线路入H01P;线路连接器、汇流器入H01R;受激发射器件入H01S;机电谐振器入H03H;扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R;一般电光源入H05B;印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K;在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类)
H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备;其零部件(H01L51/42优先;由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件,而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L27/00)
H01L31/08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31/10 ..特点在于至少有一个电位跃变势垒或表面势垒的,例如光敏晶体管
H01L31/101 ...对红外、可见或紫外辐射敏感的器件
H01L31/112 ....以场效应工作为特征的,如结型场效应光敏晶体管
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