发明授权
- 专利标题: 具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法
- 专利标题(英): Method for manufacturing super-junction semiconductor device with extended groove
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申请号: CN201110051878.4申请日: 2011-03-04
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公开(公告)号: CN102142378B公开(公告)日: 2012-07-11
- 发明人: 罗小蓉 , 王元刚 , 姚国亮 , 雷天飞 , 葛瑞 , 陈曦
- 申请人: 电子科技大学
- 申请人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 专利权人: 电子科技大学
- 当前专利权人: 电子科技大学,东莞电子科技大学电子信息工程研究院
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号
- 代理机构: 成都天嘉专利事务所
- 代理商 冉鹏程
- 主分类号: H01L21/336
- IPC分类号: H01L21/336 ; H01L21/331
摘要:
本发明公开了一种新型具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法,通过多次外延多次注入、刻蚀延伸沟槽、填充绝缘介质以及平坦化,之后形成有源层和电极等关键工艺步骤,实现了一种新型超结结构和超结半导体器件的工艺制造。相对于现有技术,本发明具有以下优点:第一,可以形成窄且高浓度P柱区或N柱区,有利于降低导通电阻;第二,可以确保槽栅底部与体区下界面平齐或略低于体区下界面,从而提高器件耐压,并降低栅-源和栅-漏电容;第三、不需要复杂的掩模,避免了小角度注入工艺对沟道区的影响;第四、避免了延伸槽填充及平坦化、槽栅制作及平坦化对已形成的体区、体接触区以及源区产生的不利影响。
公开/授权文献
- CN102142378A 具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法 公开/授权日:2011-08-03
IPC分类: