具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法
摘要:
本发明公开了一种新型具有延伸沟槽的超结半导体器件的制造方法,通过多次外延多次注入、刻蚀延伸沟槽、填充绝缘介质以及平坦化,之后形成有源层和电极等关键工艺步骤,实现了一种新型超结结构和超结半导体器件的工艺制造。相对于现有技术,本发明具有以下优点:第一,可以形成窄且高浓度P柱区或N柱区,有利于降低导通电阻;第二,可以确保槽栅底部与体区下界面平齐或略低于体区下界面,从而提高器件耐压,并降低栅-源和栅-漏电容;第三、不需要复杂的掩模,避免了小角度注入工艺对沟道区的影响;第四、避免了延伸槽填充及平坦化、槽栅制作及平坦化对已形成的体区、体接触区以及源区产生的不利影响。
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