发明公开
- 专利标题: 用于顶栅有机薄膜晶体管的经表面处理的基板
- 专利标题(英): Surface treated substrates for top gate organic thin film transistors
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申请号: CN200980134307.8申请日: 2009-08-07
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公开(公告)号: CN102144311A公开(公告)日: 2011-08-03
- 发明人: T·库勒 , J·伯勒斯 , J·卡特尔 , J·哈尔斯 , C·纽萨姆
- 申请人: 剑桥显示技术有限公司
- 申请人地址: 英国剑桥
- 专利权人: 剑桥显示技术有限公司
- 当前专利权人: 剑桥显示技术有限公司
- 当前专利权人地址: 英国剑桥
- 代理机构: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 杨勇
- 优先权: 0814534.4 2008.08.08 GB
- 国际申请: PCT/GB2009/001941 2009.08.07
- 国际公布: WO2010/015833 EN 2010.02.11
- 进入国家日期: 2011-03-03
- 主分类号: H01L51/05
- IPC分类号: H01L51/05
摘要:
顶栅晶体管的形成方法,该方法包括如下步骤:提供带有源极和漏极的基板,该源极和漏极在其间限定沟道区;处理该沟道区的表面的至少一部分以降低其极性;并在该沟道中沉积半导体层。
IPC分类: