发明授权
- 专利标题: 一种电子束分次熔炼提纯多晶硅的方法
- 专利标题(英): Method for purifying polysilicon by adopting electron beam to carry out fractionated smelting
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申请号: CN201110125904.3申请日: 2011-05-16
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公开(公告)号: CN102145893B公开(公告)日: 2012-11-07
- 发明人: 谭毅 , 战丽姝 , 邹瑞洵 , 郭校亮
- 申请人: 青岛隆盛晶硅科技有限公司
- 申请人地址: 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
- 专利权人: 青岛隆盛晶硅科技有限公司
- 当前专利权人: 大连隆盛科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省青岛市即墨市普东镇太阳能产业基地
- 主分类号: C01B33/037
- IPC分类号: C01B33/037
摘要:
本发明属于用物理冶金技术提纯多晶硅的技术领域。一种电子束分次熔炼提纯多晶硅的方法,首先备料:将洗净烘干后的硅料置于电子束熔炼炉中;再预处理:对坩锅水冷、电子枪预热;最后提纯:采用以200-300mA的小束流电子束熔化并熔炼一段时间,然后降低束流为零,待硅锭完全变暗,硅蒸气回凝入熔池后,再次以200-300mA的小束流熔炼多晶硅一段时间后停止束流,重复小束流熔炼和停止束流的操作多次,最后冷却凝固即可得到磷含量很低的多晶硅锭。本发明的显著效果是采用了电子束分次熔炼的技术,一方面降低硅的蒸发损失量,此方法提纯效果好,技术稳定,工艺简单,节能降耗,周期短,生产效率高。
公开/授权文献
- CN102145893A 一种电子束分次熔炼提纯多晶硅的方法 公开/授权日:2011-08-10