发明授权
CN102148325B 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法
- 专利标题（英）： High-load piezoelectric ceramic micro-displacement actuator and manufacturing method thereof
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申请号： CN201010583493.8申请日： 2010-12-13
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公开(公告)号： CN102148325B公开(公告)日： 2013-05-08
- 发明人: 张学成 , 明绍寒 , 张晟
- 申请人： 吉林大学
- 申请人地址： 吉林省长春市前进大街2699号
- 专利权人： 吉林大学
- 当前专利权人： 吉林大学
- 当前专利权人地址： 吉林省长春市前进大街2699号
- 代理机构： 长春吉大专利代理有限责任公司
- 代理商 齐安全
- 主分类号： H01L41/09
- IPC分类号： H01L41/09 ; H01L41/25
摘要：
本发明公开了大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法。所述的大负荷压电陶瓷微位移驱动器包括弹性膜片(2)、上压板(3)、M组1号压电组件(4)、1号下底板(6)与定位套(7)。定位套(7)的下端装入1号下底板(6)的中心通孔内成动配合，M组1号压电组件(4)以定位套(7)为中心均布在1号下底板(6)上，上压板(3)套装在定位套(7)的上端，上压板(3)和M组1号压电组件(4)上端面相接触，1号下底板(6)和上压板(3)之间用细长的紧固螺钉连接，弹性膜片(2)通过螺钉和上压板(3)与定位套(7)的上端面紧固连接。本发明还提供了另一种大负荷压电陶瓷微位移驱动器的技术方案及两种微位移驱动器的制作方法。
公开/授权文献
- CN102148325A 大负荷压电陶瓷微位移驱动器及其制作方法 公开/授权日：2011-08-10
IPC分类:
