Invention Publication
CN102152316A 一种硅片传输机器人R轴结构
无效 - 撤回
- Patent Title: 一种硅片传输机器人R轴结构
- Patent Title (English): R shaft structure of silicon chip transmission robot
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Application No.: CN201110062744.2Application Date: 2011-03-16
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Publication No.: CN102152316APublication Date: 2011-08-17
- Inventor: 刘延杰 , 吴明月 , 荣伟彬 , 孙立宁
- Applicant: 哈尔滨工业大学
- Applicant Address: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- Assignee: 哈尔滨工业大学
- Current Assignee: 哈尔滨工业大学
- Current Assignee Address: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- Main IPC: B25J17/00
- IPC: B25J17/00

Abstract:
一种硅片传输机器人R轴结构,具有更高的回转精度、联接刚度、结构简单、节省空间、特别适用于空间结构狭窄的硅片传输机器人R轴结构,包括R轴大臂外壳机构(1)、R轴大臂同步带及预紧机构(2)、同轴密封机构(3)、同步小带轮旋转机构(4)、同步大带轮旋转机构(5)、十字交叉轴承(6)、传动轴机构(7)、R轴小臂同步带及预紧机构(8)、R轴小臂外壳机构(9)等。本发明机构的特点,是使用1个十字交叉轴承(6)来取代传统结构中的一对角接触球轴承、轴承隔套、轴承压盖、轴承锁紧螺母等一系列零件组成的机构,使传动轴的长度有效减短,从而降低了R轴大小臂的高度空间,并由此引发一系列功能的改善。
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