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发明公开
CN102175894A 一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法 无效 - 撤回

  • 专利标题： 一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法
  • 专利标题（英）： Method for preparing miniature thermocouple probe of scanning thermal microscopy
  • 申请号： CN201010606034.7
    申请日： 2010-12-24
  • 公开(公告)号： CN102175894A
    公开(公告)日： 2011-09-07
  • 发明人: 陈清 , 高崧 , 李思然
  • 申请人： 北京大学
  • 申请人地址： 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
  • 专利权人： 北京大学
  • 当前专利权人： 北京大学
  • 当前专利权人地址： 北京市海淀区颐和园路5号北京大学
  • 代理机构： 北京君尚知识产权代理事务所
  • 代理商 余功勋
  • 主分类号： G01Q60/58
  • IPC分类号： G01Q60/58
一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法
摘要：
本发明公开了一种扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法，属于纳米加工、纳米尺度性能测量和电子科学技术领域。所述扫描热显微镜微型热电偶探针的制备方法包括：a)在AFM悬臂针尖的正面制作第一金属层；b)在所述第一金属层上制作绝缘层；c)除去针尖的尖端上设定区域的绝缘层；d)在所述绝缘层上制作第二金属层，所述第二金属层在所述设定区域内和所述第一金属层接触，所述第二金属层和所述第一金属层的材料组成不同。本发明可用于纳米加工、纳米尺度性能测量等技术领域。
摘要（英）：

The invention discloses a method for preparing a miniature thermocouple probe of a scanning thermal microscopy, which belongs to the technical fields of nano machining, nanoscale performance measurement and electronic science. The method for preparing the miniature thermocouple probe of the scanning thermal microscopy comprises the following steps of: a) manufacturing a first metal layer on the front of a cantilever pinpoint of an atomic force microscopy; b) manufacturing an insulating layer on the first metal layer; c) removing the insulating layer in a set area on the tip of the pinpoint; and d) manufacturing a second metal layer on the insulating layer, wherein the second metal layer is in contact with the first metal layer in the set area, and is made from a material different from that of the first metal layer. The method can be used for the technical fields of nano machining, nanoscale performance measurement and the like.

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