一种微流控芯片的微沟道加工设备
摘要:
本发明提供了一种微流控芯片的微沟道加工设备,本发明支架的下端与多自由度的数控载物台相连接,摇臂设置在支架上,划刻深度控制标尺设置在摇臂上,微尺寸刀具数控运动机构设置在划刻深度控制标尺上,加热器的上端与划刻深度控制标尺的下端相连接,微尺寸刀具的上部设置在加热器内,温度控制器通过导线与加热器相连接。本发明的设备是将控温加热与微机械加工装置相结合,采用数控编程保证了复杂沟道图形加工的同时也保证了所需的加工精度,使得微流控芯片的加工工艺流程得到简化,加工时间缩短。刀具寿命长,定位精度高,便于微流控芯片的批量化生产。制作的微流控芯片的沟道平整度与线性度良好。适用本发明的设备其加工方法简单易行。
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