本发明公开了一种用于晶圆对准的模板图像质量反馈系统及其方法，所述系统包括一可自由移动的机械运动平台，一晶圆托盘，一工业相机，一可变化照明光波波长范围的照明装置以及一主计算机；本发明的软件系统包括用户界面模块、图像采集模块、图像处理模块和设备控制模块。本发明能实时采集机械运动平台上的目标图像，通过软件系统中既定算法的处理后，从图像和模板图案中提取出模式识别/模板匹配相关的诸归一化的特征，并实时显示在用户界面上，本发明还包括一种能从给定的图像中找到最佳匹配模板的方法。