一种具有光电特性的TbMnO3异质结的制备方法，它是在0.5毫米厚的n型导电掺铌钛酸锶Nb-SrTiO3基片上外延生长100-150nm厚的TbMnO3薄膜，在二者界面处形成TbMnO3/Nb-SrTiO3异质结；该方法有五大步骤：一、用固相反应法高温烧结出TbMnO3靶材：二、利用脉冲激光沉积方法制备薄膜；三、把TbMnO3薄膜放置于双束系统中，进行镓离子注入；四、运用X射线衍射仪表征薄膜的微结构，分析薄膜的外延生长方向；五、薄膜上溅射铂作上电极，基片为下电极，采用测试仪进行电压电流特性测量和光调制。本发明构思科学，工艺先进，在电子技术工程技术领域里具有实用价值和广阔地应用前景。