连续退火炉
摘要:
一种连续退火炉(10),将穿过入口密封部(11)而被导入的处理件(1)在含有氢气的周围气体中从加热带(12)朝冷却带(13a)~(13c)连续地搬运,在加热带对处理件间接加热后,在冷却带使该处理件冷却退火,并将该处理件穿过出口密封部(16)导出,所述连续退火炉设有周围气体供给装置(20)、导向路(33)及周围气体控制装置(30),其中,所述周围气体供给装置(20)朝连续退火炉内供给周围气体;所述导向路(33)将连续退火炉内的过剩的周围气体引导至加热带的燃烧部;所述周围气体控制装置(30)对将过剩的周围气体流过该导向路引导至加热带的燃烧部的情况进行控制。
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