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多结光电器件及其生产方法
摘要:
本发明涉及一种多结光电器件(1),包括其上沉积第一导电层(3)的基底(2)、其上沉积第二导电层(7)的n-i-p或n-p配置的至少两个基本光电器件(4,6)、以及在两个相邻基本光电器件(4,6)之间提供的至少一个中间层(5)。根据本发明的中间层(5)具有在进光侧的顶部面(10)和在另一侧的底部面(11),所述底部面(11)具有大于150nm的峰到谷粗糙度,并且所述顶部面(10)和底部面(11)分别具有包括倾斜的基本表面的表面形态,使得α90底部小于α90顶部至少3°,优选地6°,更优选地10°,并且更优选地15°;其中α90顶部是这样的角度:中间层(5)的顶部面(10)的基本表面的90%具有等于或小于该角度的倾斜度,并且α90底部是这样的角度:中间层(5)的底部面(11)的表面的基本表面的90%具有等于或小于该角度的倾斜度。
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