发明授权
- 专利标题: 一种平、台结合双向二极管芯片及制作工艺
- 专利标题(英): Flat and lug combined bidirectional diode chip and manufacturing process thereof
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申请号: CN201110189645.0申请日: 2011-07-07
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公开(公告)号: CN102244104B公开(公告)日: 2013-05-22
- 发明人: 王兴龙 , 邹红兵
- 申请人: 重庆平伟实业股份有限公司
- 申请人地址: 重庆市梁平县梁山镇皂角村双桂工业园区
- 专利权人: 重庆平伟实业股份有限公司
- 当前专利权人: 重庆平伟实业股份有限公司
- 当前专利权人地址: 重庆市梁平县梁山镇皂角村双桂工业园区
- 主分类号: H01L29/861
- IPC分类号: H01L29/861 ; H01L29/06 ; H01L21/329 ; H01L21/78
摘要:
本发明公开了一种平、台结合双向二极管芯片,由P型原始硅片加工而成,芯片的两面靠近两端处均设置有一次氧化层,芯片的两面还设置有磷扩散层,所述一次氧化层和所述磷扩散层上还设置有二次氧化层,二次氧化层与一次氧化层的重叠区域内开有台面槽,台面槽上设有氮化硅钝化层,芯片两面的表层还设置有镍层。本发明还公开了一种平、台结合双向二极管芯片的制作工艺,包括以下步骤:一次氧化、光刻、磷扩散、二次氧化、光刻台面槽、钝化、光刻引线孔、渡镍、切割得到独立芯片。本发明的优点在于:由于硅片机械强度高,不易碎片,所以划片(或称为切割)的效率大大提高,比GPP工艺提高40%以上,能够节约整个图形的面积约20%。
公开/授权文献
- CN102244104A 一种平、台结合双向二极管芯片及制作工艺 公开/授权日:2011-11-16
IPC分类: