本发明针对锗烷生产系统尾气成分为氢气和微量锗烷的特点，提供了一种尾气处理方法，将锗烷生产系统的尾气经由进气口（1）流入分解室（2）、收集室（3）和液封瓶（4）组成的尾气处理装置，最后由出气口（5）连接排放系统排放。尾气流过已预加热的分解室时，所含锗烷受热分解形成金属锗粉，分解形成的超细锗金属粉被气流带入收集室收集，经处理的尾气最后通过装有液体介质的液封瓶吸收掉微量锗粉后排放，实现尾气达标排放和锗的回收。本方法成本低，工艺简单，去除锗烷的效率高，易于实现工业化。