本发明涉及一种电感耦合等离子体离子源气体保护的方法及其装置。本发明的电感耦合等离子体离子源气体保护装置，包括中空的气体屏蔽罩体，所述气体屏蔽罩体一端开有与等离子体炬管相对应的炬管孔和进气口，另一端设置成与外部相连通的开口，所述开口与电感耦合等离子体接口装置相对，所述开口处设有冷却装置，所述水冷装置与电感耦合等离子体接口装置相配形成气体屏蔽罩体的气体出气端，该气体屏蔽罩体的气体出气端与外界相通。本发明提供的电感耦合等离子体离子源气体保护的方法及其装置，使ICP处在惰性气体氛围中，从根本上消除或减少O、N、H和C等形成的干扰，降低背景等效浓度，改善线性相关系数和检出限。