发明授权
CN102272935B 用配送管进行的含液材料至图案表面的配送
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用配送管进行的含液材料至图案表面的配送
- 专利标题(英): Dispensing liquid containing material to patterned surfaces using a dispensing tube
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申请号: CN201080004068.7申请日: 2010-01-06
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公开(公告)号: CN102272935B公开(公告)日: 2015-06-24
- 发明人: E.M.萨赫斯 , R.L.华莱士 , J.F.布雷德特 , B.F.波利托 , A.埃尔森
- 申请人: 1366科技公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 1366科技公司
- 当前专利权人: 1366科技公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 宋宝库; 杨炯
- 优先权: 61/204382 2009.01.06 US
- 国际申请: PCT/US2010/020245 2010.01.06
- 国际公布: WO2010/080822 EN 2010.07.15
- 进入国家日期: 2011-07-06
- 主分类号: H01L31/00
- IPC分类号: H01L31/00
摘要:
含液体的材料被沉积到工件-如硅片表面上的凹槽内,以便形成太阳能电池。液体能够被配送入工件路径内,如在压力下通过配送管进入凹槽内。配送管机械地遵循凹槽中的轨迹。所述配送管可以较小,且能够在槽底搁置,侧壁起限制作用。或者其也可以较大,且能在凹槽的顶边上骑行。诸如突起、非圆形横截面、模制突起和凸起部的轨迹特征也能增强循迹效果。配送管可以通过弹性或磁性加载而对凹槽施力。对准引导件-如引入特征可以导引配送管进入凹槽。沿该路径的恢复特征可以恢复任意的管。可使用多根管。多个工件可排成行或在一个鼓状物上处理。
公开/授权文献
- CN102272935A 用配送管进行的含液材料至图案表面的配送 公开/授权日:2011-12-07
IPC分类: