用配送管进行的含液材料至图案表面的配送
摘要:
含液体的材料被沉积到工件-如硅片表面上的凹槽内,以便形成太阳能电池。液体能够被配送入工件路径内,如在压力下通过配送管进入凹槽内。配送管机械地遵循凹槽中的轨迹。所述配送管可以较小,且能够在槽底搁置,侧壁起限制作用。或者其也可以较大,且能在凹槽的顶边上骑行。诸如突起、非圆形横截面、模制突起和凸起部的轨迹特征也能增强循迹效果。配送管可以通过弹性或磁性加载而对凹槽施力。对准引导件-如引入特征可以导引配送管进入凹槽。沿该路径的恢复特征可以恢复任意的管。可使用多根管。多个工件可排成行或在一个鼓状物上处理。
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