一种测试机台吸盘
摘要:
本发明公开了一种测试机台吸盘,涉及半导体制造技术,测试机台吸盘包括:第一信号加载端,连接电流源的一端,并在测试时接触连接晶圆的背面;测试端,连接电压计的一端,并在测试时接触连接晶圆的背面;所述信号加载端和所述测试端断开设置,所述电流源的另一端和所述电压计的另一端在测试时分别连接所述晶圆的正面待测器件的相应管脚。由于将测试机台吸盘至少分成了测试端和信号加载端两个部分,并使得测试端和信号加载端断开设置,从而避免测试机台吸盘与晶圆共用电极一面的接触产生的电阻进行分压产生的干扰,进而提高晶圆测试时的测试精度。
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