发明授权
- 专利标题: 一种测试机台吸盘
- 专利标题(英): Sucking disc for tester table
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申请号: CN201010207669.X申请日: 2010-06-13
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公开(公告)号: CN102279290B公开(公告)日: 2013-04-17
- 发明人: 郑方伟 , 赵文魁
- 申请人: 北大方正集团有限公司 , 深圳方正微电子有限公司
- 申请人地址: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- 专利权人: 北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人: 深圳方正微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区成府路298号方正大厦9层
- 代理机构: 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 李娟
- 主分类号: G01R1/02
- IPC分类号: G01R1/02 ; G01R31/26
摘要:
本发明公开了一种测试机台吸盘,涉及半导体制造技术,测试机台吸盘包括:第一信号加载端,连接电流源的一端,并在测试时接触连接晶圆的背面;测试端,连接电压计的一端,并在测试时接触连接晶圆的背面;所述信号加载端和所述测试端断开设置,所述电流源的另一端和所述电压计的另一端在测试时分别连接所述晶圆的正面待测器件的相应管脚。由于将测试机台吸盘至少分成了测试端和信号加载端两个部分,并使得测试端和信号加载端断开设置,从而避免测试机台吸盘与晶圆共用电极一面的接触产生的电阻进行分压产生的干扰,进而提高晶圆测试时的测试精度。
公开/授权文献
- CN102279290A 一种测试机台吸盘 公开/授权日:2011-12-14