发明授权
CN102279460B 一种光学投影系统
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种光学投影系统
- 专利标题(英): Optical projection system
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申请号: CN201110212622.7申请日: 2011-07-27
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公开(公告)号: CN102279460B公开(公告)日: 2013-01-23
- 发明人: 王昕歌
- 申请人: 上海市计量测试技术研究院
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江张衡路1500号
- 专利权人: 上海市计量测试技术研究院
- 当前专利权人: 上海市计量测试技术研究院
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江张衡路1500号
- 代理机构: 上海硕力知识产权代理事务所
- 代理商 郭桂峰
- 主分类号: G02B13/22
- IPC分类号: G02B13/22 ; G02B27/00 ; G02B1/00 ; G02B3/00
摘要:
本发明涉及一种投影光学系统,用于将物平面内的图形成像到像平面内,从物方到像方沿光轴方向依次设置有:第一至第八透镜,光阑设在第四透镜和第五透镜之间,其中,所述第一至第四透镜组合镜组的后焦点位于光阑的中心,第五至第八透镜组合镜组的前焦点位于光阑的中心,通过上述结构形成双远心结构。本发明的投影光学系统,如果选择比较容易实现的工艺因子K1=1.0,光刻分辨率完全可以达到15um,足以满足用于印刷电路板(PCB)的激光直接成像(LDI)光刻装备的技术要求,而且选择高透过率光学材料,可以适用于大剂量曝光要求。
公开/授权文献
- CN102279460A 一种光学投影系统 公开/授权日:2011-12-14