- 专利标题: 柔性双边驱动设备的位置控制装置、及相关参数的整定方法
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申请号: CN201010198488.5申请日: 2010-06-11
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公开(公告)号: CN102279529A公开(公告)日: 2011-12-14
- 发明人: 吴立伟 , 陈锐 , 李志龙
- 申请人: 上海微电子装备有限公司
- 申请人地址: 上海市张东路1525号
- 专利权人: 上海微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市张东路1525号
- 代理机构: 上海思微知识产权代理事务所
- 代理商 屈蘅; 李时云
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20 ; G05D3/12
摘要:
本发明提供了一种柔性双边驱动设备的位置控制装置,包括:测量传感器、位置控制单元、及执行单元,通过测量传感器的测量实际位置,经过位置控制单元的转换及补偿,最后由执行单元将修正后的位置传回设备。可以有效的提高系统的同步能力,提高抗干扰性;能减小或者消除干扰带来的伺服误差;能够实现多自由度系统的精密定位,能够在一个周期内的加速减速时减少稳定时间从而增加生产能力;能够极大的改善非线性阻尼调节,减小柔性体在运动过程中的热耗散,提高柔性体的抗疲劳能力,进而提高寿命。另本发明提供的一种应用这样的位置控制装置的柔性双边驱动设备,能够实现工件台的减振和精确的位置补偿。
公开/授权文献
- CN102279529B 柔性双边驱动设备的位置控制装置、及相关参数的整定方法 公开/授权日:2015-03-25
IPC分类: