发明授权
- 专利标题： 低温干涉仪
- 专利标题（英）： Low-temperature interferometer
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申请号： CN201110204817.7申请日： 2011-07-21
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公开(公告)号： CN102288293B公开(公告)日： 2013-10-23
- 发明人: 华建文 , 代作晓 , 王战虎 , 樊庆 , 段娟 , 陆燕
- 申请人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址： 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址： 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构： 上海新天专利代理有限公司
- 代理商 郭英
- 主分类号： G01J3/45
- IPC分类号： G01J3/45 ; G01J3/02
摘要：
本发明公开了一种低温干涉仪，它包括动镜模块、定镜模块、分束器模块、干涉仪框架、传热板、隔热支撑筒、以稳频激光器为代表的光程差度量系统、以气动元件和储气筒为代表的动镜锁定装置、干涉仪安装基板等组成。这种干涉仪仪能在200K的低温下工作。
公开/授权文献
- CN102288293A 低温干涉仪 公开/授权日：2011-12-21
