本发明公开了一种半导体臭氧传感器温度补偿电路及其补偿方法，其特征在于：所述补偿电路由半导体臭氧传感器(4)、加热电极电流源电路(2)、加热电极温度测量电路(3)、单片机控制电路(1)组成；所述补偿方法为加热电极电流源电路(2)为半导体臭氧传感器(4)的加热电极(4a)供电，根据加热电极(4a)电阻的温度特性，利用加热电极温度测量电路(3)来测量加热电极(4a)的电阻变化，确定加热电极(4a)的温度，单片机控制电路(1)根据温度设定值，调整加热电极电流源电路(2)的电流大小，从而稳定加热电极(4a)的温度。本发明的有益效果是实现控制半导体臭氧传感器工作温度的恒定，不受环境温度和湿度的影响，大大提高臭氧浓度的测量精度和稳定度。