一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法
Abstract:
一种光学零件加工与检测一体化制造装置及制造方法,属于光学零件加工领域,本发明为解决现有光学零件加工大多采用离线测量方式,加工效率低;现有的光学零件加工设备无法满足在线测量的要求的问题。本发明的工件主轴、刀具主轴和剪切干涉仪安装在加工机床的工作台面上,工件主轴上安装工件,刀具主轴通过摆臂及刀架安装刀具,数控系统驱动刀具主轴旋转,带动刀具对工件进行加工,剪切干涉仪发出的检测光束的光轴与工件主轴的中心线在同一直线上,剪切干涉仪发出检测光束至工件,剪切干涉仪采集检测光束返回的图像信息发送给测量信息处理系统,测量信息处理系统根据获取工件表面的面形误差信息,并发送给数控系统,数控系统对工件进行补偿加工。
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