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硬质保护膜及其形成方法
Abstract:
一种被覆于工具表面的硬质保护膜,其组成为具有下面所规定原子比的(Cr1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y),0<a≤0.4,0.05≤b≤0.35,0.25≤1-a-b≤0.9,0≤x≤0.15,0≤y≤0.5,或其组成为具有下面所规定原子比的(M1-a-bAlaSib)(BxCyN1-x-y),0.05≤a≤0.5,0.1<b≤0.35,0≤x≤0.15,0≤y≤0.5,式中M表示Ti和Cr。用于切削工具的该硬质保护膜具有比常规硬质保护膜更好的耐磨性。
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