• 专利标题: 主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置
  • 专利标题(英): Optical measurement method and optical measurement device for five-degree-of-freedom rotation errors of spindle
  • 申请号: CN201110130596.3
    申请日: 2011-05-19
  • 公开(公告)号: CN102322795B
    公开(公告)日: 2013-06-05
  • 发明人: 王文文耀华卢科青余建平陈子辰
  • 申请人: 浙江大学
  • 申请人地址: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
  • 专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人: 浙江大学
  • 当前专利权人地址: 浙江省杭州市西湖区浙大路38号
  • 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
  • 代理商 林怀禹
  • 主分类号: G01B11/00
  • IPC分类号: G01B11/00 G01B11/26
主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置
摘要:
本发明公开了一种主轴五自由度回转误差的光学测量方法与装置。由安装于被测主轴轴端经过精密车削的法兰、四个点激光发生器、四个CCD相机(简称CCD)及其它附件组成。测量过程中法兰随被测主轴一起转动,四个点激光发生器发射四束激光入射到法兰锥面,激光经锥面反射后投射到四个CCD上。主轴没有回转误差时,每个CCD上得到的光斑位置都处于CCD中心;当主轴存在回转误差时,CCD上光斑的位置将发生变化。通过对CCD上激光位置的捕捉和后续处理,可以实现主轴径向跳动δx,δy、轴向窜动δz以及主轴绕X、Y轴的偏转误差εx,εy的测量。该方法结构简单,设备成本低,可以实现主轴五自由度回转误差非接触在线测量,具有较快的测量速度。
公开/授权文献
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