一种大磁电阻效应Fe-Ti-O非晶态薄膜的制备方法
Abstract:
一种大磁电阻效应Fe-Ti-O非晶态薄膜的制备方法,采用超高真空三靶共沉积磁控溅射镀膜机制备,本步骤如下:1)在镀膜机的靶头上分别安装一个Ti靶和Fe靶;2)将玻璃基底安装基底架上;3)开启磁控溅射设备给溅射室抽真空;4)向真空室通入O2和Ar的混合气体,使得真空室中的真空度为1Pa;5)开启溅射直流电源,分别在Ti靶Fe靶上施加电流和电压;6)打开基片的挡板,转动基片架,在基片上生长薄膜;7)溅射完成后,向真空室充入氮气,即可制得的目标产品。本发明的优点是:该工艺方法工艺简单、易于实施,制得的薄膜具有较高的室温磁电阻效应;生产成本低,适于大规模推广应用。
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