发明公开
CN102347401A 太阳能电池铜铟镓硒膜层的制备方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 太阳能电池铜铟镓硒膜层的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method for copper indium gallium selenium film layer of solar cell
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申请号: CN201110257686.9申请日: 2011-09-02
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公开(公告)号: CN102347401A公开(公告)日: 2012-02-08
- 发明人: 陈良范 , 孙嵩泉 , 罗毅 , 宁海洋 , 章新良
- 申请人: 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市龙子湖区汤和路268号
- 专利权人: 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 当前专利权人: 普乐新能源(蚌埠)有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市龙子湖区汤和路268号
- 代理机构: 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司
- 代理商 张建宏
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
太阳能电池铜铟镓硒膜层的制备方法,包括以下步骤:a、在衬底板上使用磁控溅射法预制元素铜,或元素铜和镓;b、在真空蒸发室通过蒸发法依次在衬底板上蒸镀元素铟、镓、硒,或元素铟、硒。本发明提供的方法采用磁控溅射法与蒸发法相结合,将蒸发温度较高的金属元素采用磁控溅射法向衬底板上预制,将蒸发温度较低的金属元素采用蒸发法向衬底板上预制,既降低了温度控制的难度,又可避免在蒸发法中使用剧毒气体硒化氢,从而使得制备过程控制容易,且可避免操作人员受有毒气体的影响。
IPC分类: