太阳能电池铜铟镓硒膜层的制备方法
摘要:
太阳能电池铜铟镓硒膜层的制备方法,包括以下步骤:a、在衬底板上使用磁控溅射法预制元素铜,或元素铜和镓;b、在真空蒸发室通过蒸发法依次在衬底板上蒸镀元素铟、镓、硒,或元素铟、硒。本发明提供的方法采用磁控溅射法与蒸发法相结合,将蒸发温度较高的金属元素采用磁控溅射法向衬底板上预制,将蒸发温度较低的金属元素采用蒸发法向衬底板上预制,既降低了温度控制的难度,又可避免在蒸发法中使用剧毒气体硒化氢,从而使得制备过程控制容易,且可避免操作人员受有毒气体的影响。
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