发明授权
CN102356325B 用于电-机械定位的装置和方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于电-机械定位的装置和方法
- 专利标题(英): Apparatus and method for electromechanical positioning
-
申请号: CN201080012310.5申请日: 2010-03-06
-
公开(公告)号: CN102356325B公开(公告)日: 2014-02-19
- 发明人: B.福格特伦德 , P.克嫩 , V.切雷帕诺夫
- 申请人: 于利奇研究中心有限公司
- 申请人地址: 德国于利奇
- 专利权人: 于利奇研究中心有限公司
- 当前专利权人: 于利奇研究中心有限公司
- 当前专利权人地址: 德国于利奇
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 赵辛; 杨国治
- 优先权: 102009013849.8 2009.03.18 DE
- 国际申请: PCT/DE2010/000246 2010.03.06
- 国际公布: WO2010/105592 DE 2010.09.23
- 进入国家日期: 2011-09-16
- 主分类号: G01Q10/04
- IPC分类号: G01Q10/04 ; B23Q1/34 ; H01L41/09
摘要:
本发明涉及一种装置,具有至少一个管状的压电元件,用于在压电元件内部电-机械的定位游标。这个装置的特征在于至少一个与压电元件连接的、用于在游标上施加法向力的弹性摩擦机构。本发明公开了一种用于控制该装置的方法。
公开/授权文献
- CN102356325A 用于电-机械定位的装置和方法 公开/授权日:2012-02-15