- 专利标题: 一种基于透明导电层的黑硅太阳能电池及制备方法
- 专利标题(英): Transparent conducting layer-based black silicon solar cell and preparation method thereof
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申请号: CN201110338693.1申请日: 2011-10-31
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公开(公告)号: CN102361039A公开(公告)日: 2012-02-22
- 发明人: 陈宏彦 , 朱亦鸣 , 彭滟 , 张冬生 , 温雅
- 申请人: 上海理工大学
- 申请人地址: 上海市杨浦区军工路516号
- 专利权人: 上海理工大学
- 当前专利权人: 上海理工大学
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区军工路516号
- 代理机构: 上海东创专利代理事务所
- 代理商 宁芝华
- 主分类号: H01L31/0224
- IPC分类号: H01L31/0224 ; H01L31/18
摘要:
一种基于透明导电层的黑硅太阳能电池,结构层自下而上依次为:银抗氧化层、铝导电层、P型硅层、黑硅吸收层和ITO透明导电层,其中铝导电层为太阳能电池的正极,ITO透明导电层为太阳能电池的负极。基于透明导电层的黑硅太阳能电池的制备方法:先对对P型硅层清洗;采用直流溅射法在P型硅层的一面制备铝导电层;采用离子束溅射的方法,在铝导电层下方制备银抗氧化层;将制成的样品置于密封腔内,在P型硅层未镀膜的一面用飞秒激光器加工出黑硅吸收层;再将样品置于管式气氛炉中进行退火;最后在黑硅吸收层上方采用离子束溅射方法制备ITO透明导电层。本发明可有效减少黑硅吸收层表面能量转移损耗,大幅提升黑硅太阳能电池的能量转换效率。
公开/授权文献
- CN102361039B 一种基于透明导电层的黑硅太阳能电池的制备方法 公开/授权日:2013-08-28
IPC分类: