发明授权
CN102368140B 显影方法及显影设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 显影方法及显影设备
- 专利标题（英）： Developing method and developing device
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申请号： CN201110294065.8申请日： 2011-09-30
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公开(公告)号： CN102368140B公开(公告)日： 2013-03-20
- 发明人: 宋利建 , 吕旭东
- 申请人： 四川虹欧显示器件有限公司
- 申请人地址： 四川省绵阳市经济开发区绵州大道中段186号长虹工业园
- 专利权人： 四川虹欧显示器件有限公司
- 当前专利权人： 四川虹欧显示器件有限公司
- 当前专利权人地址： 四川省绵阳市经济开发区绵州大道中段186号长虹工业园
- 代理机构： 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 吴贵明; 余刚
- 主分类号： G03F7/30
- IPC分类号： G03F7/30
摘要：
本发明公开了一种显影方法及显影设备。该显影方法包括以下步骤：提供显影设备，显影设备包括基板传送装置和喷淋装置，喷淋装置包括平行排列的喷管，喷管上设置有喷嘴；提供基板；以及使基板与平行排列的喷管的轴线垂直线成3°～5°夹角的方向运动，使喷淋装置喷出的显影液涂布在基板上。应用本发明的技术方案，喷嘴不是以一排的方式喷射，而是有一个较小的错位，这种排列可以克服由于喷嘴间相互干扰而造成的显影液喷淋不均匀的现象。
公开/授权文献
- CN102368140A 显影方法及显影设备 公开/授权日：2012-03-07
IPC分类:
