发明公开
CN102372481A 复合碱土金属氧化物
无效 - 撤回
- 专利标题: 复合碱土金属氧化物
- 专利标题(英): Compound Alkaline Earth Metal Oxide
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申请号: CN201110190852.8申请日: 2011-07-08
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公开(公告)号: CN102372481A公开(公告)日: 2012-03-14
- 发明人: 加藤裕三 , 高崎薰 , 财田真人 , 植木明
- 申请人: 宇部材料工业株式会社
- 申请人地址: 日本国山口县宇部市
- 专利权人: 宇部材料工业株式会社
- 当前专利权人: 宇部材料工业株式会社
- 当前专利权人地址: 日本国山口县宇部市
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 庞立志; 高旭轶
- 优先权: 2010-155839 2010.07.08 JP
- 主分类号: C04B35/04
- IPC分类号: C04B35/04 ; C23C14/30 ; C23C14/06
摘要:
本发明涉及含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物的复合碱土金属氧化物,本发明提供成膜用材料,其含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物,同时吸湿性低,且可以利用电子束蒸镀法或溅射法等物理气相生长法制造二次电子发射系数高的膜。复合碱土金属氧化物,其是按以镁和镁以外的碱土金属的摩尔比计为98:2~80:20的范围的比例含有氧化镁和氧化镁以外的碱土金属氧化物,且相对密度为95.0~99.9%的范围的复合碱土金属氧化物,其中,进一步含有价数为3价、4价或5价的任一者的至少一种金属元素的氧化物,该金属元素的氧化物含量相对于上述碱土金属1摩尔、以该金属元素的量计为0.0002~0.1摩尔的范围。
IPC分类: