发明公开
- 专利标题: 用于透射电子显微镜能谱法的检测器系统
- 专利标题(英): Detector system for use with transmission electron microscope spectroscopy
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申请号: CN201110246288.7申请日: 2011-08-25
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公开(公告)号: CN102384922A公开(公告)日: 2012-03-21
- 发明人: U.吕肯 , F.J.P.舒尔曼斯 , C.S.库伊曼
- 申请人: FEI公司
- 申请人地址: 美国俄勒冈州
- 专利权人: FEI公司
- 当前专利权人: FEI公司
- 当前专利权人地址: 美国俄勒冈州
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 刘春元; 卢江
- 优先权: 10193806.6 2010.12.06 EP; 61/376973 2010.08.25 US
- 主分类号: G01N23/08
- IPC分类号: G01N23/08
摘要:
本发明涉及一种用于透射电子显微镜的检测器系统,其包括用于记录图样的第一检测器和用于记录所述图样特征的位置的第二检测器。第二检测器优选地是位置灵敏检测器,其提供可以被用作反馈以便稳定所述图样在第一检测器上的位置的精确且快速的位置信息。在一个实施例中,第一检测器检测电子能量损失电子谱,并且位于第一检测器后方并检测穿过第一检测器的电子的第二检测器检测零损失峰的位置并且调节电子路径,以便稳定所述谱在第一检测器上的位置。
公开/授权文献
- CN102384922B 用于透射电子显微镜能谱法的检测器系统 公开/授权日:2016-08-10