本发明公开了一种真空传输制程设备，其包括：至少两个进出件腔；至少两个与各进出件腔一一对应的传输平台；至少一第一机械手臂；至少一第二机械手臂；其中，该加工介质能够穿过各传输平台、但无法穿过工件，各传输平台用于依次连续地从进出件腔移向该真空制程腔并利用该加工介质完成对工件的半加工，然后从该真空制程腔移回进出件腔并利用该加工介质完成对工件的完全加工。本发明还公开了另三种真空传输制程设备以及四种真空传输制程方法。本发明能够实现对工件的连续加工，获得极高的生产效率。