本发明涉及一种层叠式水冷臭氧发生器，其特征在于包括至少一层密闭气室单元，每层密闭气室单元的上、下两侧分别设有水冷极板单元，水冷极板单元与密闭气室单元平面接触，根据臭氧制备量的需要，向上依次叠加密闭气室单元及水冷极板单元；密闭气室单元采用两块平行设置的上、下电子陶瓷平板作为介电体并相互之间间隔有一狭窄空间形成气隙放电区域；水冷极板单元包括电子陶瓷水冷板，水冷板内设有多重弯曲的水冷流路，水冷板的上、下表面分别烧结有金属极板。本发明结构简单紧凑，利用密闭气室单元与水冷极板单元的层叠结构，简单叠加即可满足客户不同的臭氧制备量需求，减少设计制造工作量，便于生产管理，降低制造成本，延长使用寿命。