一种宽量程现场真空规校准装置及方法
Abstract:
本发明涉及一种宽量程现场真空规校准装置及方法,属于测量技术领域。包括气源、减压阀门、微调阀、监测真空计、五个真空截止阀、三个电容薄膜规、稳压室、第一截止阀、机械泵、第二电磁阀、分子泵、全金属角阀、真空室、被校准真空规和真空监测真空规;真空室内有限流抽气小孔;第五真空截止阀内有进气小孔。本发明的方法对真空规的校准范围为105~10-7Pa,在105~10-1Pa范围内的标准不确定度为1.5%,在10-2~10-6Pa范围内的标准不确定度为2.0%,在10-7Pa时的测量不确定度为5%,该方法量程宽、精度高且适合于现场操作;该装置体积小、质量轻。
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