本发明属于纳米压印技术领域，具体公开了一种纳米压印复合模板的制备方法。首先使用拉伸设备将聚二甲基硅氧烷薄片拉伸；其次在单晶硅片上旋涂紫外光固化胶，将拉伸的聚二甲基硅氧烷薄片覆盖甩过胶的硅片表面并充分吸收紫外光固化胶；利用紫外光固化胶的固化在聚二甲基硅氧烷表面形成一层硬质层，收缩拉伸的聚二甲基硅氧烷来形成图案；最后利用反应粒子束刻蚀，在复合图案上形成键合，并表面防粘处理，得到一种制备价格低廉、微纳尺寸可调的用于纳米压印的复合模板。