过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法属于半导体制造装备；该系统含有设置在同一基台上的运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，基台边缘设置有4个Y方向直线运动单元和2个X方向直线运动单元，基台中间设置有2个X方向高于硅片台工作面的过梁式直线运动单元；Y方向直线运动单元通过X方向直线运动单元可以实现X方向运动，并与自身的Y方向运动滑块共同实现硅片台的X方向或Y方向的运动；本发明能够增强导轨的抗转矩干扰能力，减小或克服因转矩干扰引起的运动偏差和形变偏差，提高硅片台运动精度；换台过程仅有三个节拍，缩短双台交换需要的时间，明显提高光刻机的生产效率。