发明授权
- 专利标题: 用纳米/微球光刻制造纳米/微线太阳能电池
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申请号: CN201080018567.1申请日: 2010-06-01
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公开(公告)号: CN102414788B公开(公告)日: 2016-02-24
- 发明人: W·格拉哈姆 , S·古哈 , O·古纳万 , G·S·图勒维斯基 , 王克嘉 , 张郢
- 申请人: 国际商业机器公司
- 申请人地址: 美国纽约
- 专利权人: 国际商业机器公司
- 当前专利权人: 格芯公司
- 当前专利权人地址: 美国纽约
- 代理机构: 北京市金杜律师事务所
- 代理商 酆迅
- 优先权: 12/480,163 2009.06.08 US
- 国际申请: PCT/US2010/036920 2010.06.01
- 国际公布: WO2010/144274 EN 2010.12.16
- 进入国家日期: 2011-10-26
- 主分类号: H01L21/20
- IPC分类号: H01L21/20
摘要:
提供用于制造基于纳米线/微线的太阳能电池的技术。在一个方面中,提供用于制造太阳能电池的方法。该方法包括以下步骤。提供掺杂衬底。在该衬底上沉积单层球体。该球体包括纳米球、微球或其组合。修整该球体以在单层中的单独球体之间引入空间。修整后的球体被用作掩模以对该衬底中的接线进行图案化。该接线包括纳米线、微线或其组合。在图案化的接线上形成掺杂发射极层。在该发射极层之上沉积顶部接触电极。在该衬底的与该接线相反的一侧上沉积底部接触电极。
公开/授权文献
- CN102414788A 用纳米/微球光刻制造纳米/微线太阳能电池 公开/授权日:2012-04-11
IPC分类: