一种金刚石线切割液及其制备方法
Abstract:
本发明公开了一种金刚石线切割液及其制备方法,通过采用多酚类化合物添加入PG切割液中,可起到清除多线切割过程中少量PG裂解产生的自由基的作用,阻止发生自由基链式反应,从而稳定整体PG组成成分。本发明设计合理、使用过程简单、操作方便、使用效果好且实用价值高,能解决现有硅片切割液存在的污染较严重、污片率较高的缺陷。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0