一种利用测试针痕确认打点第一点的方法
Abstract:
本发明提供了一种利用测试针痕确认打点第一点的方法,其在确保的打点第一点的位置准确的同时,可减少打点器的使用,降低设备成本。其特征在于:其利用测试针痕结合相对坐标法确定打点第一点,其具体步骤如下:a、在全自动探针台上进行圆片测试菜单的制作,确保有效测试区域内的针痕清晰;b、将测试完毕的菜单用于生产,每片圆片需要认真核对参考针痕并记录当前坐标位置(x1,y1),同时记录下实际打点第一点的坐标(x2,y2),记录下相对位移量|x1-x2|和|y1-y2|以及相对位移的方向;c、在离线打点环节,通过显微镜先确定参考针痕位置,再根据相对位移量|x1-x2|和|y1-y2|定位打点第一点,并完成离线打点动作。
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