由感光二极管与电容性次基座所构成的混成堆迭结构
摘要:
本发明关于一种由感光二极管与电容性次基座所构成的混成堆迭(hybrid stacked)结构,其包含一电容性次基座。该电容性次基座包含:一重掺杂硅基板;一凹槽,在该硅基板的上表面形成;一介电层,在该硅基板的上表面或下表面形成;一第一电极,沉积在该硅基板的下表面而与该硅基板形成一金属绝缘体半导体(MIS,metal-insulator-semiconductor)电容;以及一第二电极,沉积在该硅基板的上表面以及该凹槽的表面上。该堆迭结构还包含一感光二极管,电性(electrically)粘置在位于该凹槽底部的该第二电极上,其中该凹槽的底部尺寸与感光二极管的尺寸相匹配,而具有将感光二极管精密定位的功能。
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