阵列基板及其制造方法和有源显示器
摘要:
本发明公开了一种阵列基板及其制造方法和有源显示器,该方法包括:在第一衬底基板上依次形成栅金属薄膜、栅绝缘层和有源层薄膜;在有源层薄膜上涂覆光刻胶,曝光显影;刻蚀掉光刻胶完全去除区域对应的栅金属薄膜、栅绝缘层和有源层薄膜,形成包括栅线和栅电极的图案;刻蚀掉光刻胶部分保留区域对应的栅绝缘层和有源层薄膜,形成包括栅线和公共电极线的图案;在形成上述图案的第一衬底基板上形成第一绝缘层薄膜;将光刻胶完全保留区域的光刻胶及其上的第一绝缘层薄膜剥离;接着形成源电极、漏电极、数据线、像素电极、有源层沟道及钝化层。本发明简化阵列基板的制备流程,降低制造成本。
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