带有外延层堆叠的宽条激光器及其制造方法
摘要:
设计了一种宽条激光器(1),其具有带有上侧(22)和下侧(23)的外延层堆叠(2)。层堆叠(2)具有产生辐射的有源层(21)。此外,层堆叠(2)具有沟槽(3),其中层堆叠(2)的至少一个层被至少部分地去除,并且沟槽从上侧(22)朝着下侧(23)引导。层堆叠(2)在上侧具有接片(4),所述接片分别与沟槽(3)邻接,使得层堆叠(2)在上侧带状地构建。接片(4)和沟槽(3)分别具有最大20μm的宽度(d1,d2)。此外,设计了一种用于制造这种宽条激光器(1)的方法。
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