一种化学机械抛光浆料

发明授权

CN102477262B 一种化学机械抛光浆料有权

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专利标题： 一种化学机械抛光浆料
专利标题（英）： Chemically mechanical polishing slurry
申请号： CN201010566302.7

申请日： 2010-11-30
公开(公告)号： CN102477262B

公开(公告)日： 2015-01-28
发明人: 荆建芬 , 张建 , 蔡鑫元
申请人： 安集微电子(上海)有限公司
申请人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
专利权人： 安集微电子(上海)有限公司
当前专利权人： 安集微电子(上海)有限公司
当前专利权人地址： 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
代理机构： 上海翰鸿律师事务所
代理商 李佳铭
主分类号： H01L21/312
IPC分类号： H01L21/312

一种化学机械抛光浆料

摘要：

一种用于铜的化学机械抛光浆料，至少含有两种腐蚀抑制剂，还含有研磨颗粒、络合剂和氧化剂。使用本发明的浆料的可以保持较高的铜的去除速率和较好的抛光后表面质量。

公开/授权文献

CN102477262A 一种化学机械抛光浆料公开/授权日：2012-05-30

信息查询

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IPC分类:

H	电学
H01	基本电气元件
H01L	半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中使用的半导体器件见应用相关的小类）
H01L21/00	专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/02	.半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21/04	..至少具有一个跃变势垒或表面势垒的器件，例如PN结、耗尽层、载体集结层
H01L21/18	...器件有由周期表Ⅳ族元素或含有/不含有杂质的AⅢBⅤ族化合物构成的半导体，如掺杂材料
H01L21/30	....用H01L21/20至H01L21/26各组不包含的方法或设备处理半导体材料的（在半导体材料上制作电极的入H01L21/28）
H01L21/31	.....在半导体材料上形成绝缘层的，例如用于掩膜的或应用光刻技术的（密封层入H01L21/56）；以及这些层的后处理；这些层的材料的选择
H01L21/312	......有机层，例如光刻胶（H01L21/3105、H01L21/32优先）