用于光调制的浮动摇臂MEMS器件的制造
摘要:
本公开展示了怎样制得用于投射显示器的镜子的快速切换阵列。因为镜在中间没有通孔连接到下方弹簧支架,因此与现有技术不同,没有光自支柱或者通孔散射,于是提高了对比度。由于没有支撑接触,因此可将镜制作得较小,使得可使用更小的像素制得更高密度的显示器。此外,由于没有来自任何支撑弹簧支架的恢复力,因此镜由于附着力而停留在原位面向一或另一方向。这意味着不需要使用电压保持镜处于原位。这意味着需要较小功率运转显示器。
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