发明公开
CN102482073A 用于光调制的浮动摇臂MEMS器件的制造
失效 - 权利终止
- 专利标题: 用于光调制的浮动摇臂MEMS器件的制造
- 专利标题(英): Fabrication of a floating rocker mems device for light modulation
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申请号: CN201080037995.9申请日: 2010-08-24
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公开(公告)号: CN102482073A公开(公告)日: 2012-05-30
- 发明人: 查尔斯·戈登·史密斯 , 理查德·L·奈普
- 申请人: 卡文迪什动力有限公司
- 申请人地址: 美国加利福尼亚州
- 专利权人: 卡文迪什动力有限公司
- 当前专利权人: 卡文迪什动力有限公司
- 当前专利权人地址: 美国加利福尼亚州
- 代理机构: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- 代理商 徐金国; 钟强
- 优先权: 61/236,373 2009.08.24 US
- 国际申请: PCT/US2010/046425 2010.08.24
- 国际公布: WO2011/028504 EN 2011.03.10
- 进入国家日期: 2012-02-24
- 主分类号: B81C1/00
- IPC分类号: B81C1/00
摘要:
本公开展示了怎样制得用于投射显示器的镜子的快速切换阵列。因为镜在中间没有通孔连接到下方弹簧支架,因此与现有技术不同,没有光自支柱或者通孔散射,于是提高了对比度。由于没有支撑接触,因此可将镜制作得较小,使得可使用更小的像素制得更高密度的显示器。此外,由于没有来自任何支撑弹簧支架的恢复力,因此镜由于附着力而停留在原位面向一或另一方向。这意味着不需要使用电压保持镜处于原位。这意味着需要较小功率运转显示器。
公开/授权文献
- CN102482073B 用于光调制的浮动摇臂MEMS器件的制造 公开/授权日:2016-04-27