电子探针线/面分析结果的定量化方法
摘要:
本发明公开了一种电子探针线/面分析结果定量化的方法。该方法首先通过对偏析区域进行线、面分析,然后结合工作曲线,对线、面分析结果进行定量化处理,以获得偏析区域元素的定量分布状态,其结果的准确度可以与定量点分析相媲美,且大幅度提高了检测效率,结果受外因的影响也比较小。本发明分析方法简便易行,在日常检测中可以作为一个常用的分析技巧加以推广应用,并能够提供更为直观且准确的参考数据。
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