Invention Grant

二轴角速度传感器
Abstract:
本发明公开了一种二轴角速度传感器,其特征在于:包括安装有永磁体的底座,该底座的上方设置有质量块,该质量块经连接机构与底座相连,该质量块上布置有感应线圈,该感应线圈的两端输出感应电动势;所述质量块的下端面固定有检测电容上电极,底座上表面固定有检测电容下电极,所述检测电容上电极与检测电容下电极平行相对,二者形成检测电容;所述底座上表面还固定有参考电容下电极,所述底座的上方还固定有参考电容上电极,所述参考电容上电极与参考电容下电极平行相对,二者形成参考电容。本发明基于电磁驱动,磁电/电容检出的技术,以达到低成本,微型化,二轴角速度检测目的。
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