Invention Grant
CN102509743B 基于二氧化钛/钛酸锶异质结的紫外光探测器及制备方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 基于二氧化钛/钛酸锶异质结的紫外光探测器及制备方法
- Patent Title (English): Ultraviolet detector based on titanium dioxide/strontium titanate heterojunction and preparation method
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Application No.: CN201210001003.8Application Date: 2012-01-04
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Publication No.: CN102509743BPublication Date: 2013-10-09
- Inventor: 阮圣平 , 张敏 , 刘彩霞 , 张海峰 , 沈亮 , 周敬然 , 董玮 , 郭文滨 , 张歆东 , 徐鹏 , 陈维友
- Applicant: 吉林大学
- Applicant Address: 吉林省长春市前进大街2699号
- Assignee: 吉林大学
- Current Assignee: 吉林大学
- Current Assignee Address: 吉林省长春市前进大街2699号
- Agency: 长春吉大专利代理有限责任公司
- Agent 张景林; 刘喜生
- Main IPC: H01L31/109
- IPC: H01L31/109 ; H01L31/0224 ; H01L31/18
Abstract:
本发明具体涉及一种以超薄硅片为衬底，以纳米TiO2/SrTiO3异质结有源层为基体材料，以Au为金属插指电极的高性能半导体紫外光电探测器及其制备方法。首先采用溶胶凝胶技术制备TiO2及SrTiO3溶胶，并在超薄硅衬底上依次生长成致密的纳米SrTiO3薄膜及TiO2薄膜；然后通过磁控溅射和标准的光刻、剥离技术在薄膜表面制成一定形状的Au插指电极。本发明制备的TiO2/SrTiO3异质结金属-半导体-金属紫外光探测器具有制备方法简单，成本低廉，有望大规模生产的特点，对波长250nm-350nm的紫外线具有良好的检测性能。
Public/Granted literature
- CN102509743A 基于二氧化钛/钛酸锶异质结的紫外光探测器及制备方法 Public/Granted day:2012-06-20
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IPC分类:
