一种石英摆片的稳定化处理工艺
Abstract:
本发明公开了一种石英摆片的稳定化处理工艺,该工艺包括以下步骤(1)将切割后的石英摆片放入加热炉中,对加热炉以5℃/min~10℃/min的速度升温至750℃~850℃,保温15~40分钟;(2)对加热炉以5℃/min~8℃/min的速度升温至950℃~1150℃,保温60~100分钟;(3)对加热炉以3.5℃/min~7℃/min的速度降温至300℃~450℃,保温40~80分钟;(4)加热炉降至室温,保温35~50分钟;(5)对加热炉以5℃/min~10℃/min的速度升温至300℃~450℃,保温40~80分钟;(6)按照步骤(4)、(5)的方法重复10~15次;(7)随加热炉自然降至室温。本发明可以有效的降低石英摆片的内应力,提高了产品的力学性能和机械性能的稳定性。
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